下载半导体器件的技术资料

文档序号:31479639

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一种半导体器件,包括:第一栅电极;第一沟道结构,穿透所述第一栅电极并且包括第一沟道层和第一沟道填充绝缘层;所述第一栅电极上方的第二栅电极;第二沟道结构,穿透所述第二栅电极并且包括第二沟道层和第二沟道填充绝缘层;以及,中央布线层,在所述第一栅...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。

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