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离子检测器制造技术
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文档序号:31479043
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本发明的一种离子检测器,其具备:微通道板,其用于接受离子的入射而产生二次电子,将产生的所述二次电子倍增并输出;多个电子冲击型二极管,其具有比所述微通道板的有效区域狭窄的有效区域,用于接受从所述微通道板输出的所述二次电子的入射,将入射的所述二...
该专利属于浜松光子学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。
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