离子检测器制造技术

本发明专利技术的一种离子检测器，其具备：微通道板，其用于接受离子的入射而产生二次电子，将产生的所述二次电子倍增并输出；多个电子冲击型二极管，其具有比所述微通道板的有效区域狭窄的有效区域，用于接受从所述微通道板输出的所述二次电子的入射，将入射的所述二次电子倍增并且检测；聚焦电极，其配置于所述微通道板与所述电子冲击型二极管之间，用于朝向所述电子冲击型二极管聚焦所述二次电子；以及电压供给部，其向所述多个电子冲击型二极管的各个施加驱动电压。加驱动电压。加驱动电压。

【技术实现步骤摘要】
离子检测器


[0001]本公开涉及离子检测器。本公开所涉及的离子检测器可用于例如质量分析。

技术介绍

[0002]在专利文献1(专利第4869526号)公开有质量分析仪。该质量分析仪具备：由于离子束而产生二次电子的一对微通道板、检测在微通道板产生的二次电子的一部分的第一阳极、配置于第一阳极的后级并且检测在微通道板产生且通过第一阳极的穿孔的二次电子的第二阳极。
[0003]在专利文献2(专利第4848363号)公开有现有的离子检测器。该现有的离子检测器具备：重合的两个微通道板、检测从微通道板出射的二次电子的大部分的第一集电阳极、检测从微通道板出射的二次电子的其余部分的第二集电阳极。

技术实现思路

[0004]在专利文献1所记载的质量分析仪，通过以对入射的二次电子束赋予特定程度的衰减的方式选择穿孔的横截面面积相对于第一阳极的总横截面面积的比，来实现动态范围的增大。另外，在专利文献2所记载的离子检测器中，通过使用两个尺寸不同的第一集电阳极及第二集电阳极，来实现动态范围的扩大。如上所述，在上述
中期望动态范围的扩大。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种离子检测器，其中，具备：微通道板，其用于接受离子的入射而产生二次电子，将产生的所述二次电子倍增并输出；多个电子冲击型二极管，其具有比所述微通道板的有效区域狭窄的有效区域，用于接受从所述微通道板输出的所述二次电子的入射，将入射的所述二次电子倍增且并且检测；聚焦电极，其配置于所述微通道板与所述电子冲击型二极管之间，用于朝向所述电子冲击型二极管聚焦所述二次电子；以及电压供给部，其向所述多个电子冲击型二极管的各个施加驱动电压，所述电压供给部通过对所述多个电子冲击型二极管中的至少两个所述电子冲击型二极管的各个施加相互不同的值的驱动电压，来使彼此的增益不同。2.根据权利要求1所述的离子检测器，其中，所述多个电子冲击型二极管的各个的所述有效区域包含于所述聚焦电极的所述二次电子的聚焦范围。3.根据权利要求1或2所述的离子检测器，其中，从所述电子冲击型二极管的二次电子的入射方向观察，所述电子冲击型二极管包含所述有效区域和位于所述有效区域的周围的非有效区域，从所述入射方向观察时，所述有效区域相对于所述非有效区域的中心至...

【专利技术属性】
技术研发人员：小林浩之，高塚清香，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：