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公开了一种检测设备，用于在多个不同聚焦水平同时获取物体的多个图像；包括：调制器，用于获得入射束的多个束副本；以及检测器，能够操作以捕获多个束副本，使得多个束副本中的至少两个在不同的聚焦水平捕获。还公开了一种包括这种检测系统的检查设备。括这种...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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