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处理模块内所采用的升降销机构包括多个升降销，其沿着定义于处理模块中的下电极的周缘均匀分布。每一升降销包括顶部构件，其通过倒角所定义的轴环而与底部构件隔开。套件定义于下电极(其上容纳衬底以进行处理)的主体内的壳体中。壳体设置于定义在下电极中的...
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