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本发明提供能够通过抑制发热电阻体的热膨胀引起的塑性变形而减小发热电阻体的电阻变化，维持长期测定精度的热式传感器装置。在包括形成有开口部(2a)的基片(2)和具有以桥接开口部(2a)的方式层叠下层层叠膜(3a)、发热电阻体(5)和上层层叠膜(...
该专利属于日立安斯泰莫株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日立安斯泰莫株式会社授权不得商用。

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