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本实用新型使得在狭缝喷嘴及包括所述狭缝喷嘴的基板处理装置中，能够有效率地进行用于使吐出量在吐出口的中央部与端部之间均匀化的作业。本实用新型的狭缝喷嘴包括：喷嘴本体，通过一对唇部隔开间隙地相互相向，形成呈狭缝状开口的吐出口；以及调整机构，使一...
该专利属于株式会社斯库林集团所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社斯库林集团授权不得商用。

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