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本实用新型公开了一种适用于PECVD设备的臭氧输送及喷淋双层石英管道，包括：内部中空的管体，所述管体包括：内部中空的外管；以及内部中空的内管，所述内管设于所述外管内部；所述外管与所述内管之间限定出氮气通道，所述内管内部设有臭氧通道，所述氮气...
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