温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本公开涉及基板排列装置和基板输送装置。提供一种针对基板的每个处理以适当的基板的间距处理基板的技术。基板排列装置对多个基板进行排列。基板排列装置包括移动机构、控制部和多个保持部。多个所述保持部沿所述基板的排列方向排列，彼此保持不同的所述基板。...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。