【技术实现步骤摘要】
基板排列装置和基板输送装置
[0001]本公开涉及基板排列装置和基板输送装置。
技术介绍
[0002]专利文献1公开了自载体取出多个基板并将多个基板以等间距排列的技术。多个基板在以等间距排列的状态下依次浸渍于多个处理液，依次向多个处理供给。在实施多个处理的期间，不改变基板的间距。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开平11
‑
233591号公报
技术实现思路
[0006]技术要解决的问题
[0007]本公开的一技术方案提供一种针对基板的每个处理以适当的基板的间距处理基板的技术。
[0008]用于解决问题的方案
[0009]本公开的一技术方案是一种基板排列装置，其为对基板处理装置的多个基板进行排列的基板排列装置，所述基板处理装置包括第1液处理装置和第2液处理装置，该第1液处理装置使多个所述基板浸渍于第1处理液，该第2液处理装置使多个所述基板浸渍于与所述第1处理液不同的第2处理液，其特征在于，该基板排列装置包...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基板排列装置，其为对基板处理装置的多个基板进行排列的基板排列装置，所述基板处理装置包括第1液处理装置和第2液处理装置，该第1液处理装置使多个所述基板浸渍于第1处理液，该第2液处理装置使多个所述基板浸渍于与所述第1处理液不同的第2处理液，其特征在于，该基板排列装置包括：多个保持部，其沿所述基板的排列方向排列，彼此保持不同的所述基板；移动机构，其使多个所述保持部沿所述基板的排列方向相对地移动；以及控制部，其控制所述移动机构，所述控制部在利用多个所述保持部保持多个所述基板的状态下基于接下来的工序的处理内容来控制所述移动机构。2.根据权利要求1所述的基板排列装置，其特征在于，该基板排列装置包括：壳体，其收容所述移动机构的滑动部；以及罩，其覆盖所述壳体的开口部，随着多个所述保持部的相对的移动而伸缩。3.根据权利要求2所述的基板排列装置，其特征在于，该基板排列装置包括排气部，该排气部将所述壳体的内部的气体排出。4.根据权利要求1～3中任一项所述的基板排列装置，其特征在于，该基板排列装置包括：多个第2保持部，其沿所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：金川耕三，甲斐义广，山本裕介，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。