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本发明公开了一种具有复合膜层的声表面波装置,涉及声表面波器件领域,该声表面波装置复合膜层和叉指电极,叉指电极形成于复合膜层上方,复合膜层中的任意一个界面处形成有图案化结构,图案化结构为凹槽阵列图形,凹槽阵列图形呈定周期或变周期分布。通过在复...该专利属于无锡市好达电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡市好达电子股份有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种具有复合膜层的声表面波装置,涉及声表面波器件领域,该声表面波装置复合膜层和叉指电极,叉指电极形成于复合膜层上方,复合膜层中的任意一个界面处形成有图案化结构,图案化结构为凹槽阵列图形,凹槽阵列图形呈定周期或变周期分布。通过在复...