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本公开描述了一种具有半导体芯片的图像形成元件，半导体芯片具有微机电系统(MEMS)装置(210)和电压生成器(220)，每个电压生成器被配置为：生成由MEMS装置中的一个或多个MEMS装置使用的电压。浮置接地可以用于向由电压生成器生成的电压...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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