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本发明提供的一种半导体器件的应力测量装置以及应力测量方法，涉及半导体技术领域，包括：基台包括相对设置的第一台座和第二台座；第一承接件活动装配在第一台座上，第一承接件上活动装配有至少两个第一滚轴；第二承接件活动装配在第二台座上，第二承接件上活...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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