温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种用于大面积软X射线波带片的制备方法，其首先采用电子束曝光技术得到HSQ光刻胶纳米柱，然后进行深刻蚀，将光刻胶纳米图案转移到衬底上，再去除HSQ光刻胶纳米柱，得到高深宽比的波带片模板，再交替使用原子层沉积进行两种材料填充，接着...
该专利属于湖南大学所有，仅供学习研究参考，未经过湖南大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。