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本实用新型实施例提供了一种晶圆承载装置，包括：承载本体、多个位置检测部件和处理器；其中，多个位置检测部件设置在承载本体上；位置检测部件，用于检测晶圆在第一平面的投影与位置检测部件在第一平面的投影是否存在重叠，并将检测结果发送给处理器；第一平...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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