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串联式射频MEMS开关制造技术
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下载串联式射频MEMS开关的技术资料
文档序号:3133730
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一种串联式射频MEMS开关,它解决了现有技术因触点变形弯曲而影响触点与信号线的接触效果的问题,提供一种能保证触点与波导能够稳定接触的串联式射频MEMS开关,本实用新型包括:驱动块、触点、固定端、共平面波导,触点由上下二层薄膜构成,其上层薄膜...
该专利属于福州大学所有,仅供学习研究参考,未经过福州大学授权不得商用。
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