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本实用新型提供一种承载盘拆装辅助装置，用于在拆装所述承载盘时将所述承载盘从所述腔体的上开口处提出或放入，包括定位部件、手动操作部件和抓取部件，所述定位部件盖设于所述上开口处，所述抓取部件的一端连接所述定位部件，安装或拆卸承载盘时，所述抓取部...
该专利属于广州粤芯半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州粤芯半导体技术有限公司授权不得商用。

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