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本发明实施例提供了一种杂质扩散方法和太阳能电池制造方法，其中所述杂质扩散方法包括：在待处理基板上形成第一扩散源层，所述第一扩散源层富含受主或施主杂质元素，且所述第一扩散源层中氧和氮的原子浓度比之和小于10at％；在所述第一扩散源层上形成第二...
该专利属于中国科学院宁波材料技术与工程研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院宁波材料技术与工程研究所授权不得商用。

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