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本实用新型公开了一种防护型晶圆冲洗真空干燥机，包括：腔体，所述腔体上设有氮气干燥装置、喷水装置、抽真空机构和静电消除器，所述氮气干燥装置设于腔体上的氮气喷口，所述喷水装置设于腔体上的喷水口，所述抽真空机构与腔体的抽气口连接，所述静电消除器设...
该专利属于谷微半导体科技（江苏）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过谷微半导体科技（江苏）有限公司授权不得商用。

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