下载微机电开关和用于防止微机电开关中的自启动的方法的技术资料

文档序号:3125577

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根据一个实施例,公开了一种微机电(MEMS)开关。所述MEMS开关包括衬底、安装在所述衬底上的底电极、安装在所述底电极上的顶电极、安装在所述衬底上的启动电极以及耦合到所述启动电极的电阻器。只要所述开关被开启,所述电阻器就防止所述启动电极上的...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。

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