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微机电开关和用于防止微机电开关中的自启动的方法技术
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文档序号:3125577
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根据一个实施例,公开了一种微机电(MEMS)开关。所述MEMS开关包括衬底、安装在所述衬底上的底电极、安装在所述底电极上的顶电极、安装在所述衬底上的启动电极以及耦合到所述启动电极的电阻器。只要所述开关被开启,所述电阻器就防止所述启动电极上的...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。
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