微机电开关和用于防止微机电开关中的自启动的方法技术

根据一个实施例，公开了一种微机电（ＭＥＭＳ）开关。所述ＭＥＭＳ开关包括衬底、安装在所述衬底上的底电极、安装在所述底电极上的顶电极、安装在所述衬底上的启动电极以及耦合到所述启动电极的电阻器。只要所述开关被开启，所述电阻器就防止所述启动电极上的自启动。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术一般涉及微机电系统(MEMS)，并且，本专利技术尤其涉及MEMS开关。
技术介绍
微机电系统(MEMS)装置具有广泛的应用，并且在商业产品中很普遍。一类MEMS装置是MEMS射频(RF)开关。典型的MEMS RF开关包括以RF开关阵列排列的一个或多个MEMS开关。由于MEMSRF开关的低功率特性和在射频范围内工作的能力，对于无线装置而言，MEMS RF开关是理想的。MEMS RF开关显示出它们在蜂窝电话、无线计算机网络、通信系统、以及雷达系统中有应用前途。在无线装置中，MEMS RF开关能被用作天线开关、模式开关、以及发射/接收开关。然而，MEMS RF开关经常出现问题。MEMS开关通常会遭受由于高电压RF信号而导致所述开关内的启动电极可以在“关”状态下启动(自启动)的问题。因此，高电压RF信号产生足够的静电力来减弱开关波束并引起故障。由于电容耦合，MEMS开关还可能遭遇通过启动电极/电容器到地的额外的插入损耗(IL)，其大大地降低了所述装置的RF性能(例如，从0.3dB到＞1dB)。附图说明通过以下给出的详细描述和本专利技术各种实施例的附图，将会更加充分地理解本专利技本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微机电（ＭＥＭＳ）开关，包括：衬底；底电极，其安装在所述衬底上；顶电极，其安装在所述底电极上；启动电极，其安装在所述衬底上；以及电阻器，其耦合到所述启动电极，用于防止所述启动电极上的自启动。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】US 2004-6-29 10/879,5391.一种微机电(MEMS)开关，包括衬底；底电极，其安装在所述衬底上；顶电极，其安装在所述底电极上；启动电极，其安装在所述衬底上；以及电阻器，其耦合到所述启动电极，用于防止所述启动电极上的自启动。2.如权利要求1所述的开关，还包括耦合到所述启动电极的电容器，其中，所述电阻器的阻抗大于所述电容器的阻抗。3.如权利要求2所述的开关，其中，所述电阻器的阻抗的范围在20kΩ与70kΩ之间。4.如权利要求2所述的开关，其中，只要所述开关闭合，所述电阻器就防止通过所述启动电极的插入损耗。5.如权利要求1所述的开关，其中，所述电阻器经由多晶硅驱动电极与所述启动电极集成在一起。6.如权利要求5所述的开关，其中，所述驱动电极由较高掺杂剂的多晶硅构成，以实现对启动电荷分布的充分传导。7.一种无线通信系统，包括接收机，用于接收高电压RF信号；发射机，用于发射所述高电压RF信号；以及微机电(MEMS)开关，其耦合到所述接收机和所述发射机，其具有启动电极；以及电阻器，其耦合到所述启动电极，用于只要所述开关开启，就防止所述启动电极上由于所述高电压RF信号引起的自启动。8.如权利要求7所述的系统，其中，所述MEMS开关还包括耦合到所述启动电极的电容器，其中，所述电阻器的阻抗大于所述电容器的阻抗。9.如权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾官艾伦周，
申请(专利权)人：英特尔公司，
类型：发明
国别省市：US[]