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本发明提供一种碳化硅靶材组件及其制备方法，所述制备方法包括如下步骤：(1)对碳化硅靶材坯料依次进行切料、粗磨、线切割以及精磨，得到碳化硅靶材；(2)钎焊接背板与步骤(1)所得碳化硅靶材，得到碳化硅靶材半成品组件；(3)对步骤(2)所得碳化硅...
该专利属于宁波江丰电子材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波江丰电子材料股份有限公司授权不得商用。

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