下载衬底的预处理方法、及金刚石膜的制备方法的技术资料

文档序号:31237770

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本发明属于金刚石膜制备领域,公开了一种衬底的预处理方法及金刚石膜的制备方法,包括以下步骤:S1.清洗衬底,然后干燥;S2.将步骤S1所得衬底进行等离子体干法刻蚀;S3.制备金刚石微粉浆料,将金刚石微粉浆料均匀地旋涂在步骤S2刻蚀后的衬底上,...
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