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本发明公开一种碳化硅晶圆贯穿型管道缺陷的检测方法及装置，涉及碳化硅晶圆检测技术领域，其能够直观地观察到是否存在贯穿型管道，且检测时间短、检测人员不易产生疲劳，能够有效保证检测的一致性。本发明所述的碳化硅晶圆贯穿型管道缺陷的检测方法，包括以下...
该专利属于河北同光科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河北同光科技发展有限公司授权不得商用。

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