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光机换能器装置与对应的方法制造方法及图纸
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下载光机换能器装置与对应的方法的技术资料
文档序号:31230802
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本公开的实施例涉及光机换能器装置与对应的方法。实施例装置包括具有第一表面和第二表面的光学透明基底;压电膜,布置在第一表面,响应于传播通过基底的光束而振荡;面向基底的至少一个反射刻面被布置在压电膜处;以及光学元件,在输入端接收光束,并且将光束...
该专利属于意法半导体股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过意法半导体股份有限公司授权不得商用。
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