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本发明是一种可集成的多功能湿光敏元件及其制造方法。其方法是在硅外延片或硅单晶片上采用氩离子镀膜技术与硅平面工艺的兼容性制成含有ＭＩＯＳ电容器与薄膜平面电阻器构成的复合结构，其敏感膜是在ＳｉＯ↓［２］／Ｓｉ衬底上用氩离子镀膜技术镀上钛酸镧锶或...
该专利属于华南理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过华南理工大学授权不得商用。

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