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本实用新型公开了一种能够兼容多尺寸晶圆花篮的底座，包括：底板，在底板上滑动设置有两块结构、大小均相同的左卡板和右卡板，在左卡板与右卡板之间留有可变间隙，在可变间隙中可设卡置有卡块，在左卡板和右卡板上均设置有若干台阶壁，在靠近各台阶壁的底板上...
该专利属于江苏联芯半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏联芯半导体科技有限公司授权不得商用。

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