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一种处理槽制造技术
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文档序号:31201121
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本实用新型提供了一种处理槽,包括:槽体,所述槽体具有凹槽,所述凹槽包括底壁和至少两个相对设置的侧壁,并用于容纳液体;以及第一气体鼓泡器件,所述第一气体鼓泡器件靠近所述两个侧壁中的一个,所述第一气体鼓泡器件包括至少一个鼓泡孔,所述鼓泡孔的出气...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
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