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在一个实施例中,半导体器件包括:第一鳍部,从衬底延伸;第二鳍部,从衬底延伸;栅极间隔件,位于第一鳍部和第二鳍部上方;栅极电介质,具有第一部分、第二部分、和第三部分,第一部分沿着第一鳍部的第一侧壁延伸,第二部分沿着第二鳍部的第二侧壁延伸,第三...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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在一个实施例中,半导体器件包括:第一鳍部,从衬底延伸;第二鳍部,从衬底延伸;栅极间隔件,位于第一鳍部和第二鳍部上方;栅极电介质,具有第一部分、第二部分、和第三部分,第一部分沿着第一鳍部的第一侧壁延伸,第二部分沿着第二鳍部的第二侧壁延伸,第三...