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本公开涉及一种防尘MEMS模组、麦克风装置以及电子设备。所述防尘MEMS模组包括：电路板和防尘膜；所述电路板具有相背设置的第一表面和第二表面，所述电路板上开设有贯穿所述第一表面和所述第二表面的通孔；所述电路板的第二表面凹陷形成有凹陷槽，所述...
该专利属于歌尔微电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过歌尔微电子股份有限公司授权不得商用。

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