下载半导体存储装置的技术资料

文档序号:31158266

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实施方式提供能够抑制短路所引起的动作不良的半导体存储装置。实施方式的半导体存储装置具有基板、层叠体、柱状体、以及单晶体。层叠体层叠于基板上。柱状体在层叠体内沿与基板交叉的第一方向延伸。单晶体从基板向柱状体内突出,位于柱状体与基板之间。层叠体...
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