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本发明公开了一种自蔓延法高温高压氮化硅粉体制备装置，所述氮化硅粉体制备装置包括内部设有反应空间的炉体、料车、进料系统、自蔓延反应点火系统、真空系统、气路系统、冷却系统和自动控制系统；可以提供可控批量化的大型氮化硅的自蔓延法制备，得到纯度较高...
该专利属于上海韵申新能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海韵申新能源科技有限公司授权不得商用。

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