一种自蔓延法高温高压氮化硅粉体制备装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种自蔓延法高温高压氮化硅粉体制备装置，所述氮化硅粉体制备装置包括内部设有反应空间的炉体、料车、进料系统、自蔓延反应点火系统、真空系统、气路系统、冷却系统和自动控制系统；可以提供可控批量化的大型氮化硅的自蔓延法制备，得到纯度较高的氮化硅。利用自蔓延法的特点，点火加热，利用放热反应进行反应，节约能源。通过设置传动系统，炉门采用(左或右)开门方式，自动开合结构，自动化程度高。度高。度高。

【技术实现步骤摘要】
一种自蔓延法高温高压氮化硅粉体制备装置


[0001]本专利技术涉及氮化硅制备
，尤其涉及一种自蔓延法高温高压氮化硅粉体制备装置。

技术介绍

[0002]氮化硅等高性能陶瓷陶瓷具有高强度、高硬度、较高断裂韧性，以及耐高温、耐磨损、耐腐蚀、热膨胀系数小、抗热冲击性能好等优良性能，因此在冶金、机械、能源、汽车、半导体、化工等现代科学技术和工业领域已获得越来越多的应用。自蔓延合成法是制备高性能陶瓷材料的一种常用的方法，自蔓延法生产的工艺反应速度快，但反应温度较高，且以实验室小批量为主，单炉产量低，效率低，成本较高。

技术实现思路

[0003]鉴于目前存在的上述不足，本专利技术提供一种自蔓延法高温高压氮化硅粉体制备装置，通过自蔓延工艺高温合成高纯的氮化硅粉胚。
[0004]为达到上述目的，本专利技术的实施例采用如下技术方案：
[0005]一种自蔓延法高温高压氮化硅粉体制备装置，所述氮化硅粉体制备装置包括内部设有反应空间的炉体、料车、进料系统、自蔓延反应点火系统、真空系统、气路系统、冷却系统和自动控制系统；
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自蔓延法高温高压氮化硅粉体制备装置，其特征在于，所述氮化硅粉体制备装置包括内部设有反应空间的炉体、料车、进料系统、自蔓延反应点火系统、真空系统、气路系统、冷却系统和自动控制系统；所述炉体设有由进料系统控制启闭的炉门，所述料车用于填装粉料经轨道通过炉门进出炉体；所述炉体在关闭炉门后密封使得料车与外界绝热且在反应中处于密闭空间；所述自蔓延反应点火系统用于对料车内粉料通电点火引发自蔓延放热反应；所述真空系统与炉体相连，用于对装入料车后的反应空间进行抽真空；所述气路系统与炉体相连，包括充气管路、尾气排放管路和安全泄放气管路，所述充气管路用于对反应空间进行氮气充压以达到预定的反应压力，所述尾气排放管路用于在反应空间达到预设压力后通过排气自动泄压以调节反应空间压力，所述安全泄放气管路用于在尾气排放管路无法调节反应空间压力时开启进行压力泄放；所述冷却系统用于对炉体、真空系统、气路系统和自动控制系统进行温度调节；所述自动控制系统用于控制进料系统、自蔓延反应点火系统、真空系统、气路系统和冷却系统。2.根据权利要求1所述的自蔓延法高温高压氮化硅粉体制备装置，其特征在于，所述进料系统包括料车、进料平台、旋转传动装置和驱动装置，所述旋转传动装置与炉门连接并可控制炉门旋转打开或关闭，所述炉体内设有轨道，所述轨道与进料平台对接可是料车从进料平台通过轨道进出炉体，所述驱动装置分别连接自动控制系统和旋转传动装置，并可在自动控制系统的控制下驱动旋转传动装置旋转打开或关闭炉门。3.根据权利要求1所述的自蔓延法高温高压氮化硅粉体制备装置，其特征在于，所述炉体为卧式反应炉体，其包括筒体、侧封头...

【专利技术属性】
技术研发人员：张华芹，程佳彪，
申请(专利权)人：上海韵申新能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：