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位线引出结构及其制备方法技术
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文档序号:31154266
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本申请涉及一种位线引出结构及其制备方法,在衬底上形成沿Y轴方向延伸的位线;形成沿X轴方向覆盖位线的接触孔,X轴方向和Y轴方向垂直;形成覆盖接触孔的金属线,接触孔位于位线和金属线之间并分别与位线和金属线接触;其中,接触孔与金属线的接触面积大于...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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