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本实用新型提供了一种半导体真空烧结机构,包括炉体和铰接安装在所述炉体上的炉盖,所述炉盖可做盖合或打开状态的切换;还包括沿横向从左至右依次设置的预热部、真空烧结部和冷却部,通过炉盖与炉体的铰接式结构设计,制造成本低,便于装拆和炉体的维护,同时...该专利属于江苏新智达新能源设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏新智达新能源设备有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供了一种半导体真空烧结机构,包括炉体和铰接安装在所述炉体上的炉盖,所述炉盖可做盖合或打开状态的切换;还包括沿横向从左至右依次设置的预热部、真空烧结部和冷却部,通过炉盖与炉体的铰接式结构设计,制造成本低,便于装拆和炉体的维护,同时...