下载绝缘栅双极型晶体管及其制备方法的技术资料

文档序号:31089135

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本发明提供了一种氮化镓基绝缘栅双极型晶体管及其制备方法,其中,该晶体管包括:n型集电区;p型基区,设置于n型集电区上,露出部分n型集电区;n型发射区,设置于p型基区上,露出部分p型基区;压控沟道层,设置于部分n型集电区上;接触层,设置于压控...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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