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本发明公开一种晶圆处理装置及方法，晶圆处理装置包括处理容器、供气组件和喷头，处理容器具有供气口，处理容器用以容纳被处理的晶圆；供气组件连通于供气口，用以向处理容器内部供给气体；喷头与供气口的位置对应设置；喷头具有多个喷孔，且沿轴向方向可旋转...
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