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本发明公开了一种晶圆的键合方法、装置、处理器及晶圆的键合系统。其中，该方法包括：获取第一晶圆的第一形变信息和第二晶圆的第二形变信息，其中，第一晶圆和第二晶圆为待键合的一组晶圆；根据第一形变信息和第二形变信息，调整第一晶圆与第二晶圆之间的相对...
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