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本发明提供一种使处理效率提高的真空处理装置。所述真空处理装置具备：推杆臂，其配置于所述锁定室内，并在与所述真空搬运机器人之间接受所述晶片并将所述晶片支承在梁部上或者传递在所述梁部上支承的所述晶片；以及冷却板，其配置在所述锁定室内的底部，并对...
该专利属于株式会社日立高新技术所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社日立高新技术授权不得商用。

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