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一种形成平坦化层的方法，包括：设置包括沟槽的衬底；在沟槽的表面之上涂覆预减薄物；在沟槽中形成间隙填充材料；在间隙填充材料之上涂覆后减薄物；以及执行旋压工艺以旋转衬底。底。底。
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