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本发明公开了一种晶圆夹持件、晶圆夹持机构及晶圆加工设备，所述晶圆夹持件包括一个安装座；一个夹持臂，所述夹持臂包括一个基座和两个第一延伸臂，两个所述第一延伸臂分别安装于所述基座，所述基座安装于所述安装座；至少两个第二延伸臂，至少两个所述第二延...
该专利属于上海众鸿电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海众鸿电子科技有限公司授权不得商用。

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