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本实用新型涉及磁控溅射靶材制备技术领域，特别涉及一种具有除氧化物结构的旋转靶材绑定装置，其具有硬质波纹片，环状靶管套在背管外的状态下，所述硬质波纹片能以同时接触背管外壁和靶管内壁的方式设在背管与靶管之间的间隙内。该具有除氧化物结构的旋转靶材...
该专利属于广州市尤特新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州市尤特新材料有限公司授权不得商用。

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