下载微型压敏电阻芯片的制造方法的技术资料

文档序号:3104080

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本发明涉及半导体材料,尤其是微型压每电阻芯片材料及其制造方法,该芯片是以化学纯乙酸锌为主体,以三乙醇胺为溶剂,以柠檬酸为络合物,再加入有机盐,无机盐,稀土盐,用溶胶-凝胶法合成而成多元纳米压敏粉体材料,再用冷等静压技术和半导体晶片加工方法制...
该专利属于中国科学院新疆物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院新疆物理研究所授权不得商用。

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