下载一种晶圆去胶机的联锁机构的技术资料

文档序号:31037659

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及联锁装置技术领域,具体为一种晶圆去胶机的联锁机构,包括操作台本体、控制灯、显示屏本体和功能块、保护圈和凹槽,所述操作台本体的内底壁设置有支撑板,所述支撑板的顶端固定连接有第一操作筒本体,所述第一操作筒本体的表面设置有左卡扣,所...
该专利属于谷微半导体科技(江苏)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过谷微半导体科技(江苏)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。