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本申请公开了一种多功能超声清洗装置，其包括壳体、超声发生器；所述壳体包括外壳体和设置在所述外壳体内的清洗槽，所述清洗槽内安装喷淋装置和打磨装置，所述喷淋装置设置在所述清洗槽的一侧，所述喷淋装置用于将清洗剂喷淋至待清洗件A的表面，所述打磨装置...
该专利属于上海天岳半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海天岳半导体材料有限公司授权不得商用。

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