本申请公开了一种多功能超声清洗装置，其包括壳体、超声发生器；所述壳体包括外壳体和设置在所述外壳体内的清洗槽，所述清洗槽内安装喷淋装置和打磨装置，所述喷淋装置设置在所述清洗槽的一侧，所述喷淋装置用于将清洗剂喷淋至待清洗件A的表面，所述打磨装置设置在所述清洗槽的一侧，所述打磨装置用于打磨喷淋有清洗剂的所述待清洗件A的表面；所述超声发生器设置在所述清洗槽的底部。本申请通过设置喷淋装置向待清洗件A表面喷淋清洗剂，再通过设置打磨装置打磨待清洗件A的表面，最后超声清洗，使得待清洗件A表面的结晶能够被完全去除，不会影响后续的长晶过程；该装置清洁效果好，节省了人力投入，工作效率高。工作效率高。工作效率高。
【技术实现步骤摘要】
一种多功能超声清洗装置
[0001]本申请涉及一种多功能超声清洗装置，属于超声清洗设备领域。
技术介绍
[0002]目前碳化硅单晶的主要制备方法是物理气相传输(PVT)法，在PVT法长晶过程中，需要使用高温计监测长晶炉内的温度，其中会用到镜片和原料工装等，而这些物件在长晶完成后会有脏污，因镜片等原料工装一般需要重复使用，所以每次长晶完成后均需要清洗；在某些情况下，部分升华的碳化硅会溢出坩埚在镜片的内表面结晶，这种结晶会严重影响长晶过程中监测温度的准确性，因此必须彻底清除。
[0003]现有技术清洁带有结晶镜片、普通镜片和其他原料工装的方法为人工持清洁布蘸取酒精或蒸馏水擦拭，再放置到通风场地晾干，最后放置到烘箱烘干。
[0004]现有技术人工成本大，需要在多个地方和设备之间来回切换，且容易污染已擦拭干净的镜片；另外人工极难擦拭干净带结晶的镜片，工作效率低，往往会废弃带结晶的镜片，造成资源的浪费。
技术实现思路
[0005]为了解决上述问题，本申请提出了一种多功能超声清洗装置，通过设置喷淋装置向待清洗件A表面喷淋清洗剂，再通过设置打磨装置打磨待清洗件A的表面，最后超声清洗，使得待清洗件A表面的结晶能够被完全去除，不会影响后续的长晶过程；该装置清洁效果好，节省了人力投入，工作效率高。
[0006]根据本申请的一个方面，提供了一种多功能超声清洗装置，其包括：壳体、超声发生器；
[0007]所述壳体包括外壳体和设置在所述外壳体内的清洗槽，所述清洗槽内安装喷淋装置和打磨装置，所述喷淋装置设置在所述清洗槽的一侧，所述喷淋装置用于将清洗剂喷淋至待清洗件A的表面，所述打磨装置设置在所述清洗槽的一侧，所述打磨装置用于打磨喷淋有清洗剂的所述待清洗件A的表面；所述超声发生器设置在所述清洗槽的底部。
[0008]可选地，所述打磨装置包括打磨头、伸缩杆和电机，所述打磨头为非金属材质，所述打磨头通过所述伸缩杆与所述电机连接，所述电机用于驱动所述打磨头旋转。
[0009]可选地，所述喷淋装置包括喷淋头和储液盒，所述喷淋头用于将所述储液盒内的清洗剂喷淋在所述待清洗件A的表面上。
[0010]可选地，所述清洗槽还安装有第一支架和第二支架，所述第一支架和所述第二支架均与所述清洗槽的内壁连接，所述第一支架用于放置所述待清洗件A，所述第二支架用于放置待清洗件B，所述第一支架的高度小于所述打磨头的高度和所述喷淋头的高度。
[0011]可选地，所述清洗槽还设置有隔离板，所述隔离板竖直设置在所述清洗槽的内部，以将所述清洗槽隔断成第一功能区和第二功能区；
[0012]所述第一功能区为包括所述打磨装置、所述喷淋装置和所述第一支架的所述清洗
槽部分，所述清洗槽的剩余部分为所述第二功能区，所述第二功能区包括所述第二支架。通过设置隔离板使得清洗槽形成两个功能区，第一功能区用于清洗打磨待清洗件A，第二功能区用于清洗待清洗件B，两个功能区互不干扰，实现了同时清理待清洗件A和B，极大地提高了工作效率。
[0013]可选地，所述多功能超声清洗装置还包括第一进液阀、第一出液阀、第二进液阀、第二出液阀；
[0014]所述第一进液阀设置在所述第一功能区的壁部，所述第二进液阀设置在所述第二功能区的壁部，所述第一进液阀和所述第二进液阀用于输入清洗液；所述第一出液阀设置在所述第一功能区的底部，所述第二出液阀设置在所述第二功能区的底部，所述第一出液阀和所述第二出液阀用于排出清洗液。
[0015]可选地，所述外壳体的壁部开设有进风口，所述清洗槽的壁部开设有出风口，所述出风口的高度大于所述隔离板的高度；
[0016]所述多功能超声清洗装置还包括烘干装置和控制面板，所述烘干装置包括风机、加热装置和止逆阀，所述进风口和所述出风口均连通所述烘干装置，所述止逆阀设置在所述出风口和所述烘干装置之间；
[0017]所述控制面板设置在所述壳体的顶部外壁，所述第一进液阀、所述第一出液阀、所述第二进液阀、所述第二出液阀、所述喷淋装置、所述打磨装置、所述超声发生器和所述烘干装置均与所述控制面板电连接。通过设置烘干装置以使待清洗件A和B在清洗完成后能立即被烘干，无需单独拿出到外部晾干或烘箱烘干，节省了人力成本，实现了清洗、烘干操作一体化，还设置了止逆阀，以避免烘干过程中挥发的溶液通过出风口进入到烘干装置中，保证了壳体内部电子元件的安全。
[0018]可选地，所述多功能超声清洗装置还包括过滤装置，所述过滤装置设置在所述进风口与所述烘干装置之间，所述过滤装置包括能更换的滤芯和设置在所述滤芯底部的震动马达，所述震动马达用于清理所述滤芯上的灰尘。通过设置过滤装置以过滤空气中的尘埃等物质，避免待清洗件被污染，又通过设置震动马达，以便于清理滤芯上的灰尘。
[0019]可选地，所述多功能超声清洗装置还包括温度传感器和液位传感器，所述温度传感器和所述液位传感器均与所述控制面板电连接，所述温度传感器设置在所述清洗槽的底部，所述液位传感器设置在所述清洗槽的壁部，所述液位传感器的高度小于所述隔离板的高度。通过设置温度传感器以监测烘干温度，防止温度超过清洗液的沸点，通过设置液位传感器以将清洗液的液位控制在支架与隔离板顶部之间。
[0020]可选地，所述多功能超声清洗装置还包括密封盖，所述密封盖与所述外壳体的顶部滑动连接，所述密封盖包括排气阀和压力传感器，所述排气阀连通所述清洗槽，所述压力传感器设置在所述密封盖的底部，所述排气阀与所述压力传感器电连接。通过设置排气阀和压力传感器，使得当壳体内部压力过大时，排气阀自动打开排气，也能在储存工装时形成一个封闭的环境，防止外部空气进入造成污染。
[0021]本申请中，待清洗件A是指带结晶的镜片，待清洗件B是指普通镜片和其他原料工装。
[0022]本申请能产生的有益效果包括但不限于：
[0023]1.本申请所提供的多功能超声清洗装置，通过设置喷淋装置向带结晶镜片表面喷
淋清洗剂，再通过设置打磨装置打磨带结晶镜片的表面，最后超声清洗，使得镜片表面的结晶能够被完全去除，不会影响后续的长晶过程；该装置清洁效果好，节省了人力投入，工作效率高。
[0024]2.本申请所提供的多功能超声清洗装置，通过设置隔离板使得清洗槽形成两个功能区，第一功能区用于清洗打磨带结晶的镜片，第二功能区用于清洗普通镜片和其他原料工装，两个功能区互不干扰，实现了同时清理带结晶的镜片、普通镜片和其他原料工装，极大地提高了工作效率。
[0025]3.本申请所提供的多功能超声清洗装置，通过设置烘干装置以使镜片等工装在清洗完成后能立即被烘干，无需单独拿出到外部晾干或烘箱烘干，节省了人力成本，实现了清洗、烘干操作一体化，还设置了止逆阀，以避免烘干过程中挥发的溶液通过出风口进入到烘干装置中，保证了壳体内部电子元件的安全。
[0026]4.本申请所提供的多功能超声清洗装置，通过设置过滤装置以过滤空气中的尘埃等物质，避免待清洗件被污染，又通过设置震动马达，以便于清理滤芯上的本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种多功能超声清洗装置，其特征在于，其包括：壳体、超声发生器；所述壳体包括外壳体和设置在所述外壳体内的清洗槽，所述清洗槽内安装喷淋装置和打磨装置，所述喷淋装置设置在所述清洗槽的一侧，所述喷淋装置用于将清洗剂喷淋至待清洗件A的表面，所述打磨装置设置在所述清洗槽的一侧，所述打磨装置用于打磨喷淋有清洗剂的所述待清洗件A的表面；所述超声发生器设置在所述清洗槽的底部。2.根据权利要求1所述的一种多功能超声清洗装置，其特征在于，所述打磨装置包括打磨头、伸缩杆和电机，所述打磨头为非金属材质，所述打磨头通过所述伸缩杆与所述电机连接，所述电机用于驱动所述打磨头旋转。3.根据权利要求2所述的一种多功能超声清洗装置，其特征在于，所述喷淋装置包括喷淋头和储液盒，所述喷淋头用于将所述储液盒内的清洗剂喷淋在所述待清洗件A的表面上。4.根据权利要求3所述的一种多功能超声清洗装置，其特征在于，所述清洗槽还安装有第一支架和第二支架，所述第一支架和所述第二支架均与所述清洗槽的内壁连接，所述第一支架用于放置所述待清洗件A，所述第二支架用于放置待清洗件B，所述第一支架的高度小于所述打磨头的高度和所述喷淋头的高度。5.根据权利要求4所述的一种多功能超声清洗装置，其特征在于，所述清洗槽还设置有隔离板，所述隔离板竖直设置在所述清洗槽的内部，以将所述清洗槽隔断成第一功能区和第二功能区；所述第一功能区为包括所述打磨装置、所述喷淋装置和所述第一支架的所述清洗槽部分，所述清洗槽的剩余部分为所述第二功能区，所述第二功能区包括所述第二支架。6.根据权利要求5所述的一种多功能超声清洗装置，其特征在于，所述多功能超声清洗装置还包括第一进液阀、第一出液阀、第二进液阀、第二出液阀；所述第一进液阀设置在所述第一功能区的壁部，所述第二进液阀设置在所述第二功能区的...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴殿瑞，向远旺，裴卫博，刘浩，
申请(专利权)人：上海天岳半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。