【技术实现步骤摘要】
一种多功能超声清洗装置
[0001]本申请涉及一种多功能超声清洗装置，属于超声清洗设备领域。
技术介绍
[0002]目前碳化硅单晶的主要制备方法是物理气相传输(PVT)法，在PVT法长晶过程中，需要使用高温计监测长晶炉内的温度，其中会用到镜片和原料工装等，而这些物件在长晶完成后会有脏污，因镜片等原料工装一般需要重复使用，所以每次长晶完成后均需要清洗；在某些情况下，部分升华的碳化硅会溢出坩埚在镜片的内表面结晶，这种结晶会严重影响长晶过程中监测温度的准确性，因此必须彻底清除。
[0003]现有技术清洁带有结晶镜片、普通镜片和其他原料工装的方法为人工持清洁布蘸取酒精或蒸馏水擦拭，再放置到通风场地晾干，最后放置到烘箱烘干。
[0004]现有技术人工成本大，需要在多个地方和设备之间来回切换，且容易污染已擦拭干净的镜片；另外人工极难擦拭干净带结晶的镜片，工作效率低，往往会废弃带结晶的镜片，造成资源的浪费。
技术实现思路
[0005]为了解决上述问题，本申请提出了一种多功能超声清洗装置，通过设置喷淋装置向待清洗...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种多功能超声清洗装置，其特征在于，其包括：壳体、超声发生器；所述壳体包括外壳体和设置在所述外壳体内的清洗槽，所述清洗槽内安装喷淋装置和打磨装置，所述喷淋装置设置在所述清洗槽的一侧，所述喷淋装置用于将清洗剂喷淋至待清洗件A的表面，所述打磨装置设置在所述清洗槽的一侧，所述打磨装置用于打磨喷淋有清洗剂的所述待清洗件A的表面；所述超声发生器设置在所述清洗槽的底部。2.根据权利要求1所述的一种多功能超声清洗装置，其特征在于，所述打磨装置包括打磨头、伸缩杆和电机，所述打磨头为非金属材质，所述打磨头通过所述伸缩杆与所述电机连接，所述电机用于驱动所述打磨头旋转。3.根据权利要求2所述的一种多功能超声清洗装置，其特征在于，所述喷淋装置包括喷淋头和储液盒，所述喷淋头用于将所述储液盒内的清洗剂喷淋在所述待清洗件A的表面上。4.根据权利要求3所述的一种多功能超声清洗装置，其特征在于，所述清洗槽还安装有第一支架和第二支架，所述第一支架和所述第二支架均与所述清洗槽的内壁连接，所述第一支架用于放置所述待清洗件A，所述第二支架用于放置待清洗件B，所述第一支架的高度小于所述打磨头的高度和所述喷淋头的高度。5.根据权利要求4所述的一种多功能超声清洗装置，其特征在于，所述清洗槽还设置有隔离板，所述隔离板竖直设置在所述清洗槽的内部，以将所述清洗槽隔断成第一功能区和第二功能区；所述第一功能区为包括所述打磨装置、所述喷淋装置和所述第一支架的所述清洗槽部分，所述清洗槽的剩余部分为所述第二功能区，所述第二功能区包括所述第二支架。6.根据权利要求5所述的一种多功能超声清洗装置，其特征在于，所述多功能超声清洗装置还包括第一进液阀、第一出液阀、第二进液阀、第二出液阀；所述第一进液阀设置在所述第一功能区的壁部，所述第二进液阀设置在所述第二功能区的...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴殿瑞，向远旺，裴卫博，刘浩，
申请(专利权)人：上海天岳半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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