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本发明公开了一种晶圆寻边装置，包括：转动驱动机构，转动驱动机构包括主动辊和从动辊，主动辊和从动辊平行且间隔设置，以承载垂直状态的晶圆；阻挡杆，阻挡杆平行设置于主动辊和从动辊之间，且阻挡杆能够升降，以抬升位于主动辊和从动辊上的晶圆；以及，限位...
该专利属于上海大族富创得科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海大族富创得科技有限公司授权不得商用。

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