下载三维存储器及其制备方法的技术资料

文档序号:31020335

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本申请提供三维存储器及制备方法。制备方法包括:在衬底上限定的第一区域内形成外围高压电路,采用第一填充层覆盖第一区域;在衬底除第一区域之外的部分上形成叠层结构,叠层结构包括交替叠置的栅极牺牲层和绝缘层;保留叠层结构位于边界区的一部分以形成隔离...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。