下载半导体器件及其制作方法的技术资料

文档序号:31020211

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本申请提供一种半导体器件及其制作方法,涉及半导体技术领域,解决半导体器件的电学性能差的技术问题,该半导体器件包括衬底和位于衬底上的介质层;介质层中设有刻蚀停止层和位于刻蚀停止层上的第一金属层,第一金属层至少包裹刻蚀停止层的侧壁;衬底背离介质...
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