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本发明提供一种组合套筒、单晶炉及单晶硅棒，所述组合套筒设于导流筒内，包括：内筒，所述内筒的最小内径大于晶棒的直径；套设于所述内筒外的外筒，所述外筒的一端形成有外凸缘，所述外凸缘用于与导流筒的底部搭接；设置于所述内筒和所述外筒之间的隔热层。根...
该专利属于西安奕斯伟硅片技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安奕斯伟硅片技术有限公司授权不得商用。

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